,而是专利壁垒挡在了那里。

&ep;&ep;“你们有没有办法加快它的曝光效率,赶上传统光刻机呢?”

&ep;&ep;陈今问道,他觉得超分辨光刻这条路线,真的可以继续走下去,应用于大规模芯片制造。

&ep;&ep;“办法有!但实现太难了,以现有的技术,几乎不可能实现。”

&ep;&ep;“先说说你的办法。”

&ep;&ep;“增加‘笔’的数量,把光刻镜头做小!在手指头大小的光刻镜头内,集成1万个微型镜头,让这些微型镜头同时参与工作,完成集成电路的影刻。”

&ep;&ep;张昱明摇着头,见陈今听得一脸认真,不得不继续道:“芯片的内部结构并不复杂,每个die都是一样的构造,每个晶体管也是相同的,一万个微型镜头,同步完成一样的工作,可大大加快超分辨光刻的效率。”

&ep;&ep;“甚至如果能做出这样的光刻镜头,我们可以在一台超分辨光刻设备内,集成十组、一百组光刻镜头,在直径超过100英寸的晶圆上进行光刻,10万、100万个的微型镜头同时工作,整体光刻效率,可以远远超过传统光刻机!”

&ep;&ep;“但……太难了,以现有的工业制造能力,生产出那样的光刻镜头,至少得等到20年以后。”

&ep;&ep;问题是二十年后,随着工业技术的提高,传统光刻机的造价也降下去了,超分辨光刻还是不具有明显的竞争优势……这条路前景虽好,却注定成不了一条光明大道。

&ep;&ep;“所以说,主要是一个光刻镜头的问题,对么?”

&ep;&ep;陈今眼里闪烁亮光说道。

&ep;&ep;“是的,主要的难点就是镜头。”

&ep;&ep;“好办,镜头好办……星海科技,有办法提供你所说的这种镜头。”陈今说道。

&ep;&ep;张昱明正点着头。

&ep;&ep;突然卡了一下。

&ep;&ep;扭过头看着陈今,一脸惊愕!

&ep;&ep;呆呆问道:“陈总你说什么?”